LiGaO2

2025-03-13

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产品详细介绍:

b-LiGaO2晶体属于正交晶系,空间群为Pna21,晶格常数a=5.402Å,b=6.372Å,c=5.007Å,熔点为1560℃,与GaN的晶格失配率为0.2%。同时,LiGaO2作为GaN外延衬底材料还有独到的优点:外延生长GaN后,LiGaO2衬底可以被腐蚀掉,只剩下GaN外延膜,这极大地方便了器件的制作。

 LiGaO2 单晶于1960年生长应用于激光。然而后来发现由于它对GaN晶格匹配非常好(失配率<0.2%)并且高温下化学稳定和低成本,因而成为潜在的III-V 氮化物薄膜基片。元晶公司从1996年开始为研究者供应高质量LiGaO2晶体基片,并且质量得以大大改进以适合于LD应用。

基本特性

晶体结构

正交              

晶格常数

a=5.4008 Å       b=6.379 Å       c=5.012 Å  

生长方法

提拉法

密度

4.18  g/cm3

熔点

1600  oC

硬度

7.5

颜色和外观

白色到棕色,没有孪晶和包裹物. 

标准产品

生长棒

<100> ± 0.5o

30 mm dia.  x 30- 50 mm

毛坯
 <001>  ± 0.5o

20 x 20 x 0.7 mm

10 x 10 x 0.7 mm

外延抛光基片

<001 > ± 0.5o

单抛或双抛

Ra< 5 Å

20 x 20 x 0.5mm

10 x 10 x 0.5 mm

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